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紫外激光器主要分为固体紫外激光器、气体紫外激光器和半导体紫外激光器。
染料激光器使用有机染料作为激光介质的激光，通常是一种液体溶液。相比气体的和固态的激光介质，染料激光器通常可以用于更广泛的波长范围内。由于有宽阔的带宽，使得它们特别适合于可调谐激光器和脉冲激光器。但由于其介质寿命短，输出功率受限，基本被钛蓝宝石等波长可调的固体激光器取代。
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紫外激光由于光子能量高，在与PI等高分子聚合物材料作用时，
由于激光清洗物质、过程特点和所使用的激光器波长、能量密度和清洗方式的不同，激光清洗的机理也有所差异。利用激光具有强度高、能量密度大、聚焦性强、方向性好的特点，通过透镜组合可以聚焦光束，把光束集中到一个很小的区域中。
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激光是指利用特殊物质受到“激励”后从高能级跃迁到低能级的过程中释放光能并不断放大增益的现象。
准分子是不稳定的分子，在谐振腔内充入不同稀有气体和卤素气体的混合物而有不同波长的激光产生。常用相对论电子束或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。在医疗、光通信、半导体显视、遥感、激光武器等领域有着广泛应用。
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